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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Silicon MEM technology for millimeter-wave applications Beteiligte: Grenier, Katia M.; Dubuc, D.; Pons, Patrick; Plana, Robert; Rabbia, L.; Parra, T.; Graffeuil, Jacques Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings (2001) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.425307 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: