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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Mix and match of nanoimprint and UV lithography Beteiligte: Reuther, Freimut; Pfeiffer, Karl; Fink, Marion; Gruetzner, Gabi; Schulz, Hubert; Scheer, Hella-Christin; Gaboriau, Freddy; Cardinaud, Christophe Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings (2001) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.436708 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: