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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Silicon single atom steps as AFM height standards Beteiligte: Dixson, Ronald G.; Orji, Ndubuisi G.; Fu, Joseph; Tsai, Vincent; Williams, Ellen D.; Kacker, Raghu; Vorburger, Theodore V.; Edwards, Hal L.; Cook, Debra; West, Paul E.; Nyffenegger, Ralph Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings, 4344 (2001), Seite 157 Umfang: 157 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1117/12.436739 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: