• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Direct spray coating of photoresist for MEMS applications
  • Beteiligte: Pham, Nga P.; Scholtes, Tom L.; Klerk, Ruud; Wieder, Bernhard; Sarro, Pasqualina M.; Burghartz, Joachim N.
  • Erschienen: SPIE, 2001
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.442960
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: