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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Direct spray coating of photoresist for MEMS applications Beteiligte: Pham, Nga P.; Scholtes, Tom L.; Klerk, Ruud; Wieder, Bernhard; Sarro, Pasqualina M.; Burghartz, Joachim N. Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.442960 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: