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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Dissolution of poly(p-hydroxystyrene): molecular weight effects Beteiligte: Long, Treva; Rodriguez, Ferdinand Erschienen: SPIE, 1991 Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing VIII Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.46369 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: