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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Surface imaging on the basis of phenolic resin: experiments and simulation Beteiligte: Bauch, Lothar; Jagdhold, Ulrich A.; Dreger, Helge H.; Bauer, Joachim J.; Hoeppner, Wolfgang W.; Erzgraeber, Hartmut H.; Mehliss, Georg G. Erschienen: SPIE, 1991 Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing VIII Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.46399 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: