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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Noncontact fluorescence measurements for inspection and imprint depth control in nanoimprint lithography Beteiligte: Finder, Ch.; Mayer, C; Schulz, Hubert; Scheer, Hella-Christin; Fink, Marion; Pfeiffer, Karl Erschienen: SPIE, 2002 Erschienen in: SPIE Proceedings (2002) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.479357 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: