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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Does line-edge roughness matter?: FEOL and BEOL perspectives Beteiligte: Lin, Qinghuang; Black, Charles T.; Detavernier, Christophe; Gignac, Lynne; Guarini, Kathryn; Herbst, Brian; Kim, Hyungjun; Oldiges, Philip; Petrillo, Karen E.; Sanchez, Martha I. Erschienen: SPIE, 2003 Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing XX Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.487736 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: