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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Phase elements by means of a photolithographic system employing a spatial light modulator Beteiligte: Aubrecht, Ivo; Miler, Miroslav; Pala, Jan Erschienen: SPIE, 2003 Erschienen in: Photonics, Devices, and Systems II (2003) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.498247 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: