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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: System test for high-NA objectives at the 157-nm wavelength Beteiligte: Schreiber, Horst Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.513480 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: