• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: System test for high-NA objectives at the 157-nm wavelength
  • Beteiligte: Schreiber, Horst
  • Erschienen: SPIE, 2004
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.513480
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: