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Medientyp:
Elektronischer Konferenzbericht
Titel:
Performance of the aerial image measurement system for 157-nm lithography
Beteiligte:
Kuschnerus, Peter;
Engel, Thomas;
Harnisch, Wolfgang;
Hertfelder, Claudia;
Zibold, Axel M.;
Urbach, Jan-Peter;
Schilz, Christof M.;
Eisner, Klaus
Erschienen:
SPIE, 2003
Erschienen in:19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents