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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Comparison of actinic lens characterization by aerial image evaluation and interferometric testing for 157-nm high-NA micro-objectives Beteiligte: Schreiber, Horst Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.533313 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: