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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Merits of cellwise model-based OPC Beteiligte: Gupta, Puneet; Heng, Fook-Luen; Lavin, Mark A. Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings (2004) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.535852 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: