• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Status of Philips' extreme UV source
  • Beteiligte: Pankert, Joseph; Bergmann, Klaus; Klein, Juergen; Neff, Willi; Rosier, Oliver; Seiwert, Stefan; Smith, Christopher; Probst, Sven; Vaudrevange, Dominik; Siemons, Guido; Apetz, Rolf; Jonkers, Jeroen; Loeken, Michael; Derra, Guenther; Kruecken, Thomas; Zink, Peter
  • Erschienen: SPIE, 2004
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.538041
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: