• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Pellicle choice for 193-nm immersion lithography photomasks
  • Beteiligte: Cotte, Eric P.; Haessler, Ruediger; Utess, Benno; Antesberger, Gunter; Kromer, Frank; Teuber, Silvio
  • Erschienen: SPIE, 2004
  • Erschienen in: SPIE Proceedings (2004)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.569280
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: