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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Fast micromachining using picosecond lasers Beteiligte: Nebel, Achim; Herrmann, Thomas; Henrich, Bernhard; Knappe, Ralf Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.601651 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: