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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Confocal micro-optical distance sensor: realization and results Beteiligte: Lucke, Peter; Last, Arndt; Mohr, Jurgen; Ruprecht, Aiko K.; Pruss, Christof; Tiziani, Hans J.; Osten, Wolfgang; Lehmann, Peter; Schonfelder, Sven Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.612418 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: