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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Determination of mask induced polarization effects on AltPSM mask structures Beteiligte: Hollein, Ingo; Teuber, Silvio; Bubke, Karsten Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.617432 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: