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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: VUV spectrophotometry for photomasks characterization at 193 nm Beteiligte: Yang, Minghong; Leiterer, Jork; Gatto, Alexandre; Kaiser, Norbert; Höllein, Ingo; Teuber, Silvio; Bubke, Karsten Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings (2005) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.625144 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: