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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Evaluation of most recent chemically amplified resists for high resolution direct write using a Leica SB350 variable shaped beam writer Beteiligte: Schwersenz, Anatol; Beyer, Dirk; Boettcher, Monika; Choi, Kang-Hoon; Denker, Ulrich; Hohle, Christoph; Irmscher, Mathias; Kamm, Frank-Michael; Kliem, Karl-Heinz; Kretz, Johannes; Sailer, Holger; Thrum, Frank Erschienen: SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.655497 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: