> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Characterization of large off-axis EUV mirrors with high accuracy reflectometry at PTB Beteiligte: Laubis, Christian; Buchholz, Christian; Fischer, Andreas; Plöger, Sven; Scholz, Frank; Wagner, Heike; Scholze, Frank; Ulm, Gerhard; Enkisch, Hartmut; Müllender, Stephan; Wedowski, Marco; Louis, Eric; Zoethout, Erwin Erschienen: SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.656246 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: