• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Characterization of large off-axis EUV mirrors with high accuracy reflectometry at PTB
  • Beteiligte: Laubis, Christian; Buchholz, Christian; Fischer, Andreas; Plöger, Sven; Scholz, Frank; Wagner, Heike; Scholze, Frank; Ulm, Gerhard; Enkisch, Hartmut; Müllender, Stephan; Wedowski, Marco; Louis, Eric; Zoethout, Erwin
  • Erschienen: SPIE, 2006
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.656246
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: