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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Influence of mask manufacturing process on printing behavior of angled line structures Beteiligte: Teuber, Silvio; Duerr, Arndt C.; Herguth, Holger; Kunkel, Gerhard; Wandel, Timo; Zell, Thomas Erschienen: SPIE, 2006 Erschienen in: SPIE Proceedings (2006) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.657070 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: