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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Performance of chemically amplified resists at half-pitch of 45 nm and below Beteiligte: Wei, Yayi; Bender, Markus; Domke, Wolf-Dieter; Laessig, Antje; Sebald, Michael; Trogisch, Sven; Back, David Erschienen: SPIE, 2007 Erschienen in: SPIE Proceedings (2007) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.706887 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: