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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Data preparation for EBDW Beteiligte: Thrum, Frank; Kretz, Johannes; Lutz, Tarek; Keil, Katja; Arndt, Christian; Choi, Kang-Hoon; Baetz, Ulrich; Belic, Nikola; Lemke, Melchior; Denker, Ulrich; Gramss, Juergen; Kliem, Karl-Heinz Erschienen: SPIE, 2007 Erschienen in: 23rd European Mask and Lithography Conference (2007) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.736976 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: