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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation Beteiligte: Scholze, Frank; Laubis, Christian; Ulm, Gerhard; Dersch, Uwe; Pomplun, Jan; Burger, Sven; Schmidt, Frank Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.771923 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: