• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: High resolution nanoimprint templates for dual damascene: fabrication and imprint results
  • Beteiligte: Irmscher, Mathias; Butschke, Joerg; Carpio, Ron; Chao, Brook; Jen, Wei-Lun; Koepernik, Corinna; Nedelmann, Lorenz; Owens, Jordan; Palmieri, Frank; Pritschow, Marcus; Reuter, Christian; Sailer, Holger; Satoodeh, Ken; Wetzel, Jeff; Wilks, Bruce; Willson, Grant
  • Erschienen: SPIE, 2008
  • Erschienen in: SPIE Proceedings (2008)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.772295
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: