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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Influence of image processing on line-edge roughness in CD-SEM measurement Beteiligte: Yamaguchi, Atsuko; Yamamoto, Jiro Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: SPIE Proceedings, 6922 (2008), Seite 692221 Umfang: 692221 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1117/12.775664 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: