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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Metrology of EUV masks by EUV-scatterometry and finite element analysis Beteiligte: Pomplun, Jan; Burger, Sven; Schmidt, Frank; Scholze, Frank; Laubis, Christian; Dersch, Uwe Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.793032 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: