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Medientyp:
Elektronischer Konferenzbericht
Titel:
Characteristic analysis and simulation for polysilicon comb micro-accelerometer
Beteiligte:
Liu, Fengli;
Hao, Yongping
Erschienen:
SPIE, 2008
Erschienen in:
Seventh International Symposium on Instrumentation and Control Technology: Sensors and Instruments, Computer Simulation, and Artificial Intelligence (2008)