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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Lithography and design in partnership: a new roadmap Beteiligte: Kahng, Andrew B. Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: Photomask Technology 2008 Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.813418 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: