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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Failure analysis and simulation for micro-cantilever Beteiligte: Liu, Fengli; Hao, Yongping Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: SPIE Proceedings (2008) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.819565 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: