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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Influence of air viscous damping on beam-shaped micro-oscillator Beteiligte: Kang, Xin; Xi, Zhanwen; Zhang, Dingguo Erschienen: SPIE, 2008 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.839041 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: