> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Evaluation of 25-nm pitch SiO 2 /Si multilayer grating reference using CD-SEM Beteiligte: Kawada, Hiroki; Nakayama, Yoshinori; Yamamoto, Jiro Erschienen: SPIE, 2010 Erschienen in: SPIE Proceedings (2010) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.848308 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: