> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Multilevel integration of patternable low-κ material into advanced Cu BEOL Beteiligte: Lin, Qinghuang; Chen, S. T.; Nelson, A.; Brock, P.; Cohen, S.; Davis, B.; Fuller, N.; Kaplan, R.; Kwong, R.; Liniger, E.; Neumayer, D.; Patel, J.; Shobha, H.; Sooriyakumaran, R.; Purushothaman, S.; Spooner, T.; Miller, R.; Allen, R.; Wisnieff, R. Erschienen: SPIE, 2010 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.851225 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: