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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Real-time 3D vibration measurements in microstructures Beteiligte: Kowarsch, Robert; Ochs, Wanja; Giesen, Moritz; Dräbenstedt, Alexander; Winter, Marcus; Rembe, Christian Erschienen: SPIE, 2012 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.922184 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: