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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: High Resolution Positive Photoresists Beteiligte: Hanabata, M.; Furuta, A.; Uemura, Y. Erschienen: SPIE, 1986 Erschienen in: SPIE Proceedings, 631 (1986), Seite 76 Umfang: 76 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1117/12.963628 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: