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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Submicron Proximity Correction By The Fourier Precompensation Method Beteiligte: Haslam, Michael E.; McDonald, John F. Erschienen: SPIE, 1986 Erschienen in: Electron-Beam, X-Ray, and Ion-Beam Technology for Submicrometer Lithographies V (1986) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.963667 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: