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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Recent advances in inspecting integrated circuits for pattern defects Beteiligte: Brecher, Virginia H.; Dom, Byron E. Erschienen: SPIE, 1992 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.130296 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: