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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Absolute interferometric surface testing: a stringent need Beteiligte: Elssner, Karl-Edmund; Burow, Regina; Schulz, Guenter; Vogel, Andreas Erschienen: SPIE, 1993 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.140979 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: