• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Knowledge-based monitoring and control of plasma processes using chromaticity measurements
  • Beteiligte: Russell, Paul C.; Jones, Gordon R.; Baker, P.; Huggett, P.; Alston, D.; Smith, Richard V.
  • Erschienen: SPIE, 1994
  • Erschienen in: SPIE Proceedings (1994)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.194332
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: