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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Knowledge-based monitoring and control of plasma processes using chromaticity measurements Beteiligte: Russell, Paul C.; Jones, Gordon R.; Baker, P.; Huggett, P.; Alston, D.; Smith, Richard V. Erschienen: SPIE, 1994 Erschienen in: SPIE Proceedings (1994) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.194332 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: