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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Scatterometry sensitivity analysis for conical diffraction versus in-plane diffraction geometry with respect to the side wall angle Beteiligte: Soltwisch, Victor; Burger, Sven; Scholze, Frank Erschienen: SPIE, 2013 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2020487 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: