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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Monolithic silicon waveguides in bulk silicon wafers Beteiligte: Chang, Chia-Ming; Solgaard, Olav Erschienen: SPIE, 2014 Erschienen in: SPIE Proceedings (2014) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2044159 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: