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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Uncertainty estimation in form error evaluation of freeform surfaces for precision metrology Beteiligte: Zhang, Xiangchao; Xiao, Hong; Zhang, Hao; He, Xiaoying; Xu, Min Erschienen: SPIE, 2016 Erschienen in: SPIE Proceedings (2016) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2211994 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: