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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Tunable Fabry-Pérot interferometer with subwavelength grating reflectors for MWIR microspectrometers Beteiligte: Meinig, Marco; Kurth, Steffen; Seifert, Mario; Hiller, Karla; Wecker, Julia; Ebermann, Martin; Neumann, Norbert; Gessner, Thomas Erschienen: SPIE, 2016 Erschienen in: Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics IX (2016) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2213647 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: