• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Deposition- controlled uniformity of multilayer mirrors
  • Beteiligte: Jankowski, Alan F.; Makowiecki, Daniel M.; McKernan, M. A.; Foreman, R. J.; Patterson, R. G.
  • Erschienen: SPIE, 1991
  • Erschienen in: X-Ray/EUV Optics for Astronomy, Microscopy, Polarimetry, and Projection Lithography (1991)
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.23175
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: