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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Deposition- controlled uniformity of multilayer mirrors Beteiligte: Jankowski, Alan F.; Makowiecki, Daniel M.; McKernan, M. A.; Foreman, R. J.; Patterson, R. G. Erschienen: SPIE, 1991 Erschienen in: X-Ray/EUV Optics for Astronomy, Microscopy, Polarimetry, and Projection Lithography (1991) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.23175 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: