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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Microsystem CAD Beteiligte: Korvink, Jan G.; Baltes, Henry Erschienen: SPIE, 1996 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.250701 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: