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Bitko, Gordon; Monk, David J.; Maudie, Theresa; Stanerson, Dennis; Wertz, John; Matkin, Jeanene; Petrovic, Slobodan

Analytical techniques for examining reliability and failure mechanisms of barrier-coated encapsulated silicon pressure sensors exposed to harsh media

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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
Titel: Analytical techniques for examining reliability and failure mechanisms of barrier-coated encapsulated silicon pressure sensors exposed to harsh media
Beteiligte: Bitko, Gordon; Monk, David J.; Maudie, Theresa; Stanerson, Dennis; Wertz, John; Matkin, Jeanene; Petrovic, Slobodan
Erschienen: SPIE, 1996
Erschienen in: SPIE Proceedings (1996)
Umfang:
Sprache: Nicht zu entscheiden
DOI: 10.1117/12.250710
ISSN: 0277-786X
Entstehung:
Anmerkungen: