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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Material processing of dielectrics with femtosecond lasers Beteiligte: Ashkenasi, David; Rosenfeld, Arkadi Erschienen: SPIE, 1999 Erschienen in: Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.352675 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: