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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: CMOS integrated microsystems and nanosystems Beteiligte: Baltes, Henry; Brand, Oliver Erschienen: SPIE, 1999 Erschienen in: Smart Structures and Materials 1999: Smart Electronics and MEMS Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.354257 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: