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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Optimizing edge topography of alternating phase-shift masks using rigorous mask modeling Beteiligte: Friedrich, Christoph M.; Mader, Leonhard; Erdmann, Andreas; List, Steffen; Gordon, Ronald L.; Kalus, Christian K.; Griesinger, Uwe A.; Pforr, Rainer; Mathuni, Josef; Ruhl, Guenther G.; Maurer, Wilhelm Erschienen: SPIE, 2000 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.388969 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: